RIX半導體行業用旋轉接頭圓晶清洗

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產品名稱: RIX半導體行業用旋轉接頭圓晶清洗

產品型號: L40系列

產品廠商: 巖瀨商事

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簡單介紹

RIX半導體行業用旋轉接頭圓晶清洗 L40系列（單通道?），是專為半導體行業開發的，用于供應純水和化學溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉接頭。

RIX半導體行業用旋轉接頭圓晶清洗 的詳細介紹

RIX半導體行業用旋轉接頭圓晶清洗 L40系列（單通道）

規格：

流體：純水，藥液，空氣，真空
*大壓力：-0.095-0.6Mpa
*大通路：1
*大轉速：600min-1
主要途徑與特點：

晶圓清洗時為旋轉刷提供純水或清洗液時使用。
或者、精磨、粗磨等各種裝置的晶圓真空夾緊時使用。
氟化樹脂的構造、流路中沒有金屬粒子溶出隱患。還有使用了強化研磨粉或研磨液吸入現象的陶瓷密封面。

應用端設備對象：精磨/粗磨、晶圓清洗裝置、高速旋轉托盤、CMP裝置

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