RIX半導(dǎo)體/晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭

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產(chǎn)品名稱: RIX半導(dǎo)體/晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭

產(chǎn)品型號(hào): EMS系列

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

RIX半導(dǎo)體/晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 EMS系列，是專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的，用于供應(yīng)純水和化學(xué)溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉(zhuǎn)接頭。

RIX半導(dǎo)體/晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 的詳細(xì)介紹

RIX半導(dǎo)體/晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 EMS系列

規(guī)格：

適用流體：純水、空氣、真空
*大壓力：-0.095～0.6MPa
*大通路：5
*大轉(zhuǎn)速：800min-1
主要途徑與其特點(diǎn)：

在旋轉(zhuǎn)托盤的冷卻水IN/OUT用，晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加

應(yīng)用端設(shè)備對(duì)象：精磨/粗磨、CMP裝置

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